三菱電機グループ 通菱テクニカ株式会社 〒661-0001 兵庫県尼崎市塚口本町8丁目1-1 TEL : 06-6495-5144 FAX : 06-6495-5119
半導体メーカーの外形寸法図面に基づき10マイクロメートルの精度で検査しており、最小約20マイクロメートル幅の異物が検出可能です。